控制算法通過(guò)控制流量比實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的分流控制，同時(shí)利用 HORIBA STEC 控制優(yōu)化技術(shù)控制 FS-3000 上流壓力。此外，即使分流比改變，控制算法也能實(shí)現(xiàn)對(duì)分流的高速響應(yīng)。

• 提高可擴(kuò)展性、維護(hù)性能。FS-3000 可通過(guò)高速信號(hào)處理分離多達(dá) 15 個(gè)通道。若 MFC 出現(xiàn)故障，僅需更換故障從機(jī)即可。

• 靈活響應(yīng)所需規(guī)格 FS-3000 支持混合氣體在內(nèi)的多種氣體。此外，F(xiàn)S-3000 還支持 RS-485、DeviceNet 等用戶(hù)接口。