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LSC 系列緊湊型加熱汽化
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大流量氣化
LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的穩定氣化
所有設備維護都可以在設備前端進行
可選掌上型 PDA 用于監控 LSC 的運行狀態，并記錄和分析運行日志
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